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定制石墨盤,燒結盤,石墨盛料盤,石墨制品加工廠家

產品類型 石墨燒結盤
產品品牌 捷誠
產品簡介 由于石墨盤與晶圓接觸區域較多,在生長厚膜外延片時,沉積的外延層會增加石墨盤與半導體晶圓的粘接,使得生長完成后將外延片從石墨盤中無損傷取出較為困難,甚至可能導致裂片;2)因晶圓邊緣處較高的臺階使得該區域存在氣體湍流,容易滯留較多的生長氣體,從而使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差;3)因外延爐一般采用射頻感應加熱,熱量傳遞的方向是沿著石墨盤徑向從邊緣到中心,使得石墨盤邊緣的溫度高于中心區域的溫度,這在大尺寸外延生長中尤為突出。

捷誠石墨

13500098659

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商品描述

由于石墨盤與晶圓接觸區域較多,在生長厚膜外延片時,沉積的外延層會增加石墨盤與半導體晶圓的粘接,使得生長完成后將外延片從石墨盤中無損傷取出較為困難,甚至可能導致裂片;2)因晶圓邊緣處較高的臺階使得該區域存在氣體湍流,容易滯留較多的生長氣體,從而使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差;3)因外延爐一般采用射頻感應加熱,熱量傳遞的方向是沿著石墨盤徑向從邊緣到中心,使得石墨盤邊緣的溫度高于中心區域的溫度,這在大尺寸外延生長中尤為突出。  




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